上海青浦區(qū)半導(dǎo)體電子集成電路百級千級凈化車間裝修工程案例

案例介紹

• 項(xiàng)目名稱:上海青浦區(qū)半導(dǎo)體電子集成電路百級千級凈化車間裝修工程案例
• 建筑面積:2850.80
• 服務(wù)項(xiàng)目:半導(dǎo)體集成電路無塵室
• 項(xiàng)目地址:上海市青浦區(qū)
• 施工工期：90天
• 潔凈等級:百級、千級

案例詳情

　　一、項(xiàng)目概況

　　1、建筑物性質(zhì)、規(guī)模

　　本工程位于上海青浦區(qū)嘉松中路，為上海某某電子有限公司車間凈化裝修工程，本工程車間有一層，建筑建筑面積為2850.80平方米，其中凈化車間面積為2420.08平方米，剩余為辦公區(qū)域。

　　2、項(xiàng)目定位

　　該項(xiàng)目廠房建成后主要生產(chǎn)電子芯片，因此以千級與百級半導(dǎo)體凈化車間要求來進(jìn)行建設(shè)。

　　3、設(shè)計依據(jù)

　　《采暖通風(fēng)及空氣調(diào)節(jié)設(shè)計措施》GB50736-2012

　　《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2013

　　《工業(yè)企業(yè)廠房設(shè)計規(guī)范》GB12348-90

　　《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016-2014

　　《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50243-2016

　　《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50591-2010

　　甲方對項(xiàng)目的設(shè)計要求、提供的工藝條件以及工藝土建等專業(yè)提供的資料

　　二、平面布置

　　商業(yè)機(jī)密，業(yè)主不勻透露。

　　三、設(shè)計施工范圍

　　1、生產(chǎn)車間潔凈空調(diào)系統(tǒng)工程，

　　2、辦公區(qū)普通空調(diào)系統(tǒng)工程，

　　3、潔凈車間內(nèi)部及普通車間墻板及天花工程，

　　4、給排水及強(qiáng)電布設(shè)工程

　　5、新風(fēng)系統(tǒng)工程

　　6、空壓機(jī)設(shè)備及相關(guān)管道工程，

　　7、消防改造工程

　　四、設(shè)計參數(shù)

　　室內(nèi)設(shè)計參數(shù)

　　百級區(qū)域：溫度23±2℃，濕度：45±5%，噪聲≤60;

　　千級區(qū)域：溫度23±2℃，濕度55±10%，噪聲≤65。

　　換氣次數(shù)：百級：截面風(fēng)速0.3~0.5m/s (百級車間需做架空地板，局部百級可用潔凈棚) 千級：50~60次/h

　　五、空調(diào)系統(tǒng)

　　潔凈無塵生產(chǎn)區(qū)采用AHU(空氣處理機(jī)組)+HEPA(高效)+FFU：新風(fēng)與部分回風(fēng)混合后送人潔凈室，F(xiàn)FU潔凈循環(huán)，采用上送風(fēng)側(cè)下回風(fēng)的氣流組織的方式以滿足室內(nèi)溫度與濕度等要求。

　　六、風(fēng)管系統(tǒng)

　　空調(diào)、新風(fēng)管道用鍍鋅鋼板，材質(zhì): 鍍鋅鋼板;形狀: 矩形;規(guī)格: D<=800mm;板材厚度: 0.65mm;接口形式: 咬口;

　　七、螺桿空氣壓縮機(jī)系統(tǒng)

　　1、啟動

　　螺桿空壓機(jī)主機(jī)采用星三角轉(zhuǎn)換空載或變頻軟啟動模式，當(dāng)主電機(jī)在停止?fàn)顟B(tài)時，進(jìn)氣閥關(guān)閉，放空閥開啟，主電機(jī)在無負(fù)載時以星形啟動，同時斷水電磁閥得電，斷水閥開啟，6～10秒后轉(zhuǎn)成三角形運(yùn)行，這時壓縮機(jī)主機(jī)通過進(jìn)氣閥上的進(jìn)氣小孔吸氣并壓縮到水氣桶內(nèi)，建立了約0.2～0.3MPa的系統(tǒng)初始壓力，使水氣桶內(nèi)的水經(jīng)過冷卻器、斷水閥及水過濾器后向主機(jī)供水。

　　2、加載

　　主電機(jī)轉(zhuǎn)成三角形運(yùn)行后約5～10秒，控制器使加載電磁閥得電，加載電磁閥打開，放空閥關(guān)閉，進(jìn)氣閥開啟，主機(jī)開始負(fù)載運(yùn)行，當(dāng)水氣桶內(nèi)壓力超過0.4MPa時，最小壓力閥打開，壓縮機(jī)開始向外供氣。

　　3、卸載—加載

　　當(dāng)控制器檢測到系統(tǒng)壓力達(dá)到卸載壓力時，控制器使加載電磁閥斷電，這時進(jìn)氣閥關(guān)閉，放空閥開啟，當(dāng)外部壓力大于水氣桶壓力，最小壓力閥關(guān)閉，壓縮機(jī)繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，并通過進(jìn)氣閥小孔吸氣，壓縮至水氣桶內(nèi)，放空閥開啟放空，使水氣桶內(nèi)的壓力保持在0.4MPa，以維持系統(tǒng)的正常運(yùn)行。這時主電機(jī)是空載運(yùn)行，電流為滿負(fù)荷的15%左右。當(dāng)外部供氣壓力下降至加載壓力時，控制器使加載電磁閥得，放空閥關(guān)閉，進(jìn)氣閥打開，壓縮機(jī)加載運(yùn)行，開始向外供氣，如此循環(huán)動作。

　　4、水氣分離

　　壓縮機(jī)工作時，水氣桶內(nèi)的水由系統(tǒng)壓力驅(qū)動，經(jīng)冷卻器、水過濾器及斷水閥向主機(jī)內(nèi)噴水，壓縮機(jī)排出的是水氣混合物，經(jīng)水氣桶時，由于氣流產(chǎn)生的離心力及碰撞等作用，使水氣混合物中99.99%以上的水分離沉淀在水氣桶中，殘余的一點(diǎn)點(diǎn)水混合在壓縮空氣中經(jīng)由最小壓力閥排出水氣桶外。

　　5、自動補(bǔ)排水

　　當(dāng)壓縮機(jī)持續(xù)進(jìn)行壓縮及冷卻時，空氣中的水分便凝結(jié)累積在水氣桶內(nèi)，水位上升，若水位高于正常時，自動排水閥開啟，排出多余的水分;當(dāng)濕度較低(如冬天)或是冷卻器效率較差造成溫度上升，桶內(nèi)的水氣隨著空氣排出，水位降低，若水位低于正常時，自動補(bǔ)水閥開啟，由壓縮機(jī)吸氣側(cè)補(bǔ)充水進(jìn)入水氣桶內(nèi)。

　　6、主機(jī)運(yùn)行溫度及冷卻

　　噴水螺桿機(jī)主機(jī)的運(yùn)行溫度應(yīng)維持在≤環(huán)境溫度+20℃，這樣可使?jié)櫥艿玫接行Х蛛x，而不會因高溫使水汽化或高溫。當(dāng)壓縮機(jī)一開機(jī)時冷卻風(fēng)扇就得電，壓縮機(jī)水得到冷卻，冷卻后的壓縮機(jī)水噴至主機(jī)內(nèi)，使主機(jī)溫度下降。

　　7、停機(jī)

　　停機(jī)時，壓縮機(jī)會先卸載運(yùn)行15～35秒，當(dāng)水氣桶壓力下降0.4MPa時，主接觸器斷電，主電機(jī)停止，同時斷水電磁閥斷電，斷水閥關(guān)閉。

　　八、廢氣工程

　　因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常運(yùn)用風(fēng)機(jī)抽取工藝進(jìn)程中蒸發(fā)的各類廢氣，因而半導(dǎo)體職業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以蒸發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放首要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

　　九、自控體系

　　因?yàn)楹怂銠C(jī)枝術(shù)、操控技能、通訊技工及圖畫技能的發(fā)展，使微核算機(jī)操控技能在制冷空調(diào)自動操控的使用愈來愈普遍。傳統(tǒng)操控體系在引人微核算機(jī)后，就可以充分利用核算機(jī)的強(qiáng)大算術(shù)運(yùn)算、邏輯　運(yùn)算及記憶等功用，運(yùn)用微機(jī)指令體系，編制出契合操控規(guī)則的軟件。微機(jī)執(zhí)行這些程序，就能完成被控參數(shù)的操控與辦理，如數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理等。

　　核算機(jī)的操控進(jìn)程可歸納為實(shí)時數(shù)據(jù)采集、實(shí)時決議計劃和實(shí)時操控三個過程。這三個過程不斷地重復(fù)進(jìn)行就會使整個體系依照給定的規(guī)則進(jìn)行操控、調(diào)節(jié)。同時，也對被控變量及設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、毛病等進(jìn)行監(jiān)測、超限報警和維護(hù)，記錄歷史數(shù)據(jù)等。

　　應(yīng)該說，核算機(jī)操控在操控功用如精度、實(shí)時性、可靠性等方面是模擬操控所無法擬操控所無法比擬的。更為重要的是，因?yàn)楹怂銠C(jī)的引入而帶來的辦理功用(如報警辦理，歷史記錄等)的增強(qiáng)更是模擬操控器根本無法完成的。因而，近年來，在制冷空調(diào)自動操控的使用上，尤其在大中型空調(diào)體系的自動操控中，核算機(jī)操控已經(jīng)占主導(dǎo)地位。